國內首條12英寸智能傳感器晶圓制造產線項目投產啟動儀式舉行芯片有了“增城造”!　　6月28日，增芯舉行國內首條12英寸智能傳感器晶圓制造產線項目投產啟動儀式。該項目位于增城經濟技術開發(fā)區(qū)核心區(qū)，一期投資70億元，建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產線。預計今年底實現(xiàn)產品交付客戶?！　≡鲂臼窃谠龀锹涞氐牡谝患倚酒圃炱髽I(yè)，其12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造產線項目是廣東省、廣州市重點項目，對增城乃至廣州、廣東集成電路產業(yè)發(fā)展具有重要意義。從一片空地，到一座現(xiàn)代化先進芯片制造工廠，從2022年12月動工，到2024年6月產線通線，僅用時18個月，這不僅創(chuàng)下了廣東大體量項目建設的“芯”速度，更是企業(yè)與政府雙向奔赴，助力“廣東強芯”工程，為廣東打造中國集成電路“第三極”的最好例證?！　⌒酒辛恕霸龀窃臁薄　∽哌M增芯項目主廠房參觀通道，可直觀了解芯片制造生產過程。芯片制造對潔凈環(huán)境要求非常高，記者在現(xiàn)場看到，包括光刻機、干法刻蝕機等在內的晶圓加工設備以及各種檢測和測試設備有序擺放，整個操作車間一塵不染，工作人員身穿潔凈服進行操作。目前項目一期潔凈間的面積達1.6萬平方米，預計2025年底能達到月產2萬片的目標?！　⌒酒圃祛愃茦犯呱w房子，先用晶圓作為地基，再層層往上疊加芯片制造流程，重復若干次，產出相應的芯片。“增芯可以在增城生產第一批芯片產品了。”現(xiàn)場，增芯總經理張亮難掩內心激動。據(jù)介紹，芯片完整的制造流程涉及氣相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蝕、離子注入等步驟，分別對應不同設備。舉行投產啟動儀式，意味著項目已建立起制造系統(tǒng)，整個生產流程能夠連貫地運作，后續(xù)將通過產品良率提升和產能爬坡，加快產品交付工作?！　　半S著工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新一代信息技術的快速發(fā)展，先進智能傳感器芯片大有可為?！睆埩帘硎?，產品將主要應用于新能源智能汽車、超高清視頻顯示、高端裝備、5G、人工智能、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等領域，能極大滿足大灣區(qū)在相關優(yōu)勢產業(yè)領域對半導體及集成電路的龐大需求，加快補齊產業(yè)鏈短板，突破產業(yè)關鍵核心技術，提升產業(yè)鏈供應鏈穩(wěn)定性和安全性?！　　艾F(xiàn)代活力核”迎來“芯”景象　　作為廣州東部中心“現(xiàn)代活力核”的重要承載區(qū)，增城加快構建以“芯顯車”為主導的現(xiàn)代化產業(yè)體系，并在“芯”產業(yè)方面不斷實現(xiàn)突破，智能傳感器全產業(yè)鏈雛形初步形成?！　≡龀窃趶V州集成電路“一核兩極多點”中扮演著重要角色，主要聚焦智能傳感器和芯片制造領域。在鏈主企業(yè)增芯的牽引之下，增城已引進落戶越海、廣東微技術工研院、中微廣州、智達星空等一批能級高、帶動力強的骨干項目?！　橥苿尤a業(yè)鏈條完整集聚，增城同步打造廣東省首個獲批的智能傳感器特色產業(yè)園，形成包括增城經濟技術開發(fā)區(qū)核心區(qū)組團、電子材料組團、科教城組團、公鐵聯(lián)運組團4個組團，以制造為核心的“一核一圈四組團”空間布局，覆蓋生產制造端、裝備制造端、創(chuàng)新平臺端、封裝測試端、材料供應端、芯片設計端、終端應用端，預計到2035年形成千億級智能傳感器產業(yè)集群?！　　皬?022年12月項目動工，到2023年9月主體結構封頂，一共用了9個月零6天，再到2023年12月完成首臺設備搬入，2024年6月進入投產階段，最大感受就是‘快’。”張亮表示，這既是增芯速度，也是“增城速度”?！　‘斍?，增城正全力以赴優(yōu)化營商環(huán)境，繼續(xù)提供最優(yōu)質、最便捷、最高效的“全生命周期服務”，大力支持增芯等重點項目建設，做好全鏈條要素保障，保障項目順利投產；增城海關加快智慧海關建設，將口岸查驗指令調整為由目的地海關到廠執(zhí)行，配合企業(yè)生產流程第一時間到廠檢驗，做到隨到隨檢，一次開箱、一次驗放。同時，增城積極制定出臺和推動各項扶持政策落實，在健全完善產業(yè)鏈條、提升產業(yè)創(chuàng)新水平等方面予以政策支持，加快集成電路及智能傳感器產業(yè)發(fā)展，為培育壯大現(xiàn)代化產業(yè)體系提供堅實支撐。