國內(nèi)首條12英寸智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線項目投產(chǎn)啟動儀式舉行芯片有了“增城造”!　　6月28日，增芯舉行國內(nèi)首條12英寸智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線項目投產(chǎn)啟動儀式。該項目位于增城經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)核心區(qū)，一期投資70億元，建設(shè)月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產(chǎn)線。預計今年底實現(xiàn)產(chǎn)品交付客戶?！　≡鲂臼窃谠龀锹涞氐牡谝患倚酒圃炱髽I(yè)，其12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造產(chǎn)線項目是廣東省、廣州市重點項目，對增城乃至廣州、廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。從一片空地，到一座現(xiàn)代化先進芯片制造工廠，從2022年12月動工，到2024年6月產(chǎn)線通線，僅用時18個月，這不僅創(chuàng)下了廣東大體量項目建設(shè)的“芯”速度，更是企業(yè)與政府雙向奔赴，助力“廣東強芯”工程，為廣東打造中國集成電路“第三極”的最好例證?！　⌒酒辛恕霸龀窃臁薄　∽哌M增芯項目主廠房參觀通道，可直觀了解芯片制造生產(chǎn)過程。芯片制造對潔凈環(huán)境要求非常高，記者在現(xiàn)場看到，包括光刻機、干法刻蝕機等在內(nèi)的晶圓加工設(shè)備以及各種檢測和測試設(shè)備有序擺放，整個操作車間一塵不染，工作人員身穿潔凈服進行操作。目前項目一期潔凈間的面積達1.6萬平方米，預計2025年底能達到月產(chǎn)2萬片的目標?！　⌒酒圃祛愃茦犯呱w房子，先用晶圓作為地基，再層層往上疊加芯片制造流程，重復若干次，產(chǎn)出相應的芯片。“增芯可以在增城生產(chǎn)第一批芯片產(chǎn)品了。”現(xiàn)場，增芯總經(jīng)理張亮難掩內(nèi)心激動。據(jù)介紹，芯片完整的制造流程涉及氣相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蝕、離子注入等步驟，分別對應不同設(shè)備。舉行投產(chǎn)啟動儀式，意味著項目已建立起制造系統(tǒng)，整個生產(chǎn)流程能夠連貫地運作，后續(xù)將通過產(chǎn)品良率提升和產(chǎn)能爬坡，加快產(chǎn)品交付工作?！　　半S著工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新一代信息技術(shù)的快速發(fā)展，先進智能傳感器芯片大有可為?！睆埩帘硎?，產(chǎn)品將主要應用于新能源智能汽車、超高清視頻顯示、高端裝備、5G、人工智能、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域，能極大滿足大灣區(qū)在相關(guān)優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域?qū)Π雽w及集成電路的龐大需求，加快補齊產(chǎn)業(yè)鏈短板，突破產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心技術(shù)，提升產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈穩(wěn)定性和安全性。　　“現(xiàn)代活力核”迎來“芯”景象　　作為廣州東部中心“現(xiàn)代活力核”的重要承載區(qū)，增城加快構(gòu)建以“芯顯車”為主導的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，并在“芯”產(chǎn)業(yè)方面不斷實現(xiàn)突破，智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈雛形初步形成。　　增城在廣州集成電路“一核兩極多點”中扮演著重要角色，主要聚焦智能傳感器和芯片制造領(lǐng)域。在鏈主企業(yè)增芯的牽引之下，增城已引進落戶越海、廣東微技術(shù)工研院、中微廣州、智達星空等一批能級高、帶動力強的骨干項目?！　橥苿尤a(chǎn)業(yè)鏈條完整集聚，增城同步打造廣東省首個獲批的智能傳感器特色產(chǎn)業(yè)園，形成包括增城經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)核心區(qū)組團、電子材料組團、科教城組團、公鐵聯(lián)運組團4個組團，以制造為核心的“一核一圈四組團”空間布局，覆蓋生產(chǎn)制造端、裝備制造端、創(chuàng)新平臺端、封裝測試端、材料供應端、芯片設(shè)計端、終端應用端，預計到2035年形成千億級智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群。　　“從2022年12月項目動工，到2023年9月主體結(jié)構(gòu)封頂，一共用了9個月零6天，再到2023年12月完成首臺設(shè)備搬入，2024年6月進入投產(chǎn)階段，最大感受就是‘快’。”張亮表示，這既是增芯速度，也是“增城速度”。　　當前，增城正全力以赴優(yōu)化營商環(huán)境，繼續(xù)提供最優(yōu)質(zhì)、最便捷、最高效的“全生命周期服務”，大力支持增芯等重點項目建設(shè)，做好全鏈條要素保障，保障項目順利投產(chǎn)；增城海關(guān)加快智慧海關(guān)建設(shè)，將口岸查驗指令調(diào)整為由目的地海關(guān)到廠執(zhí)行，配合企業(yè)生產(chǎn)流程第一時間到廠檢驗，做到隨到隨檢，一次開箱、一次驗放。同時，增城積極制定出臺和推動各項扶持政策落實，在健全完善產(chǎn)業(yè)鏈條、提升產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新水平等方面予以政策支持，加快集成電路及智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，為培育壯大現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系提供堅實支撐。